Lyginant su tradiciniu purškimu dviem skysčiais, ultragarsinis purškimas turi didelio dangos tolygumo, didelio žaliavos panaudojimo, didelio dangos storio kontrolės tikslumo, plonesnio dangos storio, mažesnio purslų, neužsikimšusių purkštukų ir mažų priežiūros išlaidų pranašumus. Palyginti su vakuuminiu garinimu, CVD ir kitais dengimo procesais, ultragarsinis purškimas yra ekonomiškesnis plonos plėvelės dengimo procesas, ypač didesnio ploto plėvelės paruošimui. Ultragarsinio purškimo įrangos kaina yra daug mažesnė nei vakuuminio dengimo įrangos. Trumpai pristatykime šiuos pagrindinius purškimo ultragarsu privalumus.
Didelis dangos tolygumas
Skystųjų dalelių pasiskirstymo tolygumas, kai jį purškia ultragarso purkštukas, yra žymiai didesnis nei dviejų skysčių purkštuko, dar vadinamo oro purkštuvu, todėl dangos tolygumas po ultragarso purkštuko purškimo taip pat žymiai pagerėja. Paprastai ultragarso purškiamos dangos tolygumas gali siekti daugiau nei 95%.
2. Didelis žaliavos panaudojimas ir mažiau purslų
Kadangi ultragarsinis purškimas yra skystas purškimas ultragarsine vibracija, purškimo proceso metu danga nėra purškiama, tai yra, purškimo procesui nereikia slėgio, o skystam rūkui transportuoti po purškimo taikomas tik labai žemas nešimo dujų slėgis. Tai labai sumažina skysčių atšokimą ir purslų susidarymą dėl dviejų skysčių purškiamo aukšto slėgio oro, taip žymiai pagerindamas dangos panaudojimo greitį. Žaliavos sunaudojimo ultragarsu dažnis yra daugiau nei 4 kartus didesnis nei įprasto purškimo oru, o panaudojimo greitis gali siekti daugiau nei 90%.
3. Didelis dangos storio kontrolės tikslumas
Pagrindinis veiksnys, turintis įtakos dangos storio tikslumui, yra dangos purškimo srautas, tai yra medžiagos kiekis, nešamas ant pagrindo per laiko vienetą. Ultragarso purškimo galvutė neturi jokio skysčio slėgio, todėl ji gali visiškai kontroliuoti purškiamos purškiamos dangos skysčio srautą aukšto tikslumo dozavimo siurbliu, taip pasiekdama aukšto tikslumo purškimo srauto valdymą. Pavyzdžiui, didelio tikslumo švirkšto siurblys, jo srauto valdymo tikslumas gali pasiekti pikolitrų per sekundę lygį, o ultragarso purkštuko mikrokanalų konstrukcija taip pat gali pasiekti bendrą nanolitrų per sekundę valdymo tikslumą.
4. Plonas dangos storis gali siekti dešimtis nanometrų
Kadangi ultragarso purškimo galvutės purškimo tūris gali pasiekti labai mažą stabilų srauto greitį (0,001 ml / min), jis gali pasiekti labai mažą įkėlimo kiekį ant pagrindo, taip pasiekdamas labai ploną sausą plėvelę. Kai kurioms nanomedžiagoms sausos plėvelės storis gali būti mažesnis nei dešimtys nanometrų. Juo galima paruošti stiklo plonas plėveles, tokias kaip skaidri laidži plėvelė, antirefleksiška antirefleksija plėvelė, šilumą apsauganti plėvelė ir hidrofobinė plėvelė.
5. Nėra užsikimšę purkštukai ir mažos priežiūros išlaidos
Kadangi ultragarso purkštukas yra skystis, kurį atomizuoja ultragarso virpesiai, o purškiamas daleles lemia ultragarso virpesių dažnis, jis skiriasi nuo dviejų skysčių purkštuko. Purkštukų skersmuo nebūtinai turi būti labai mažas, kad gautų smulkių dalelių, todėl jis sumažina purkštukų užsikimšimo riziką.
